Le pôle épitaxie regroupe les différentes activités de croissance qui constituent la base de la recherche menée au CRHEA. Il est constitué de 13 chercheurs et 8 ingénieurs autour de réacteurs d'épitaxie adaptés la croissance de matériaux à grand gap, en particulier des nitrures d'éléments III, mais aussi SiC et ZnO ainsi que des matériaux 2D tels que le graphène.
Les différents équipements se distinguent par le type de méthode d’épitaxie, soit par jets moléculaires sous ultra-vide (MBE/EJM, 8 réacteurs) soit par phase vapeur (CVD ou MOCVD, 6 réacteurs).


On peut ensuite encore les différencier par les matériaux épitaxiés et les types de sources, leur géométrie, leur capacité (de 2’’ à 8’’), ou encore les températures accessibles (jusqu’à 1700°C). Le tableau ci-dessous renvoie vers un descriptif des différents réacteurs, classés par méthode de croissance et par matériau.
Réacteurs MBE (8)
Réacteur | Matériaux | Capacité | Spécificités | Financements/projets | Remarques |
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Riber Compact 21 | ZnMgO | 3" | Plasma O | Zoterac (FET-Open) | |
Riber Compact 21T | Nitrures | 4" | NH3, plasma N | GraNitE, OptoTeraGaN, Destinee, ED-GaN, GoSiMP, BREAkuP, ShoGaN, NEMSGaN | |
Riber 32P | Nitrures, terres rares | 2" | Sources Gd et Sm | ||
Riber C21S | Nitrures | 3" | NH3, haute température | Projets ANR | |
Riber R32P (JB) | Nitrures | 3" | Dopage Mg | NanoGaNUV | Jumelé avec Riber R32P (BD) |
Riber R32P (BD) | Nitrures | 3" | Obelix, Duvet, Napoli | Jumelé avec Riber R32P (JB) | |
Riber Epineat | ZnMgO | 3" | Plasma N, O | Plug-And-Bose, ZONE | |
Riber 49 | Nitrures | 8" | NH3, Plasma N | Partenariats industriels |
Réacteurs CVD/MOCVD (6)
Réacteur | Matériaux | Capacité | Spécificités | Financements/projets | Remarques |
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Aixtron 6 | Nitrures | 8" | Showerhead | GaNex | |
Thomas Swan CCS | Nitrures | 4" | Showerhead | ||
R1 (réacteur maison) | SiC, graphène | 2" | Haute température | Graphmet, GoSiMP, Granite, H2Mems | |
Aixtron 200 | Nitrures | 2" | Horizontal | ||
Vertical (réacteur maison) | Nitrures | 2" | Ligne O2 | NanoGaNUV | |
R5 (réacteur maison) | Nitrures | 2" | Haute température | GaNex |