La salle blanche est une pièce à atmosphère (température, humidité et empoussièrement) contrôlé, en légère surpression par rapport à l'extérieur (la classe correspond au nombre de particules de un micron ou moins par pied cube).

Plan de la salle blanche vue avant
Plan 3D de la salle blanche, vue avant
Plan de la salle blanche vue arriere
Plan 3D de la salle blanche, vue arrière
  1. Bâti Oxford système 100 RIE-ECR de gravure ionique plasma haute densité
  1. Bâti Alliance Comcept EVA 450 de dépôt par canon d’électrons
  2. Bâti RIBER de dépôt par évaporation par effet Joule
  3. Bâti MRC de dépôt par pulvérisation cathodique
  1. Hottes à flux laminaire classe 100 (Traitement chimique)
  2. Tournette SPS POLOS SPIN150i (Nettoyage des échantillons)
  3. Hottes à flux laminaire classe 100 (Solvant - Nettoyage)
  4. Hottes à flux laminaire classe 100 avec Tournette Karl Süss RC8 Gyrset et Tournette SUSS Labspin6 (Epandage de résine)
  1. Bâti CORIAL ICP-RIE 210IL de gravure plasma haute densité
  1. Etuve Memmert UN30Plus
  1. Aligneur de masque Karl Süss MJB3 (sous plafond soufflant classe 100)
  2. Microscope Reichert Polyvar (sous plafond soufflant classe 100)
  3. Aligneur de masque SUSS Microtec MA6 (UV4) (sous plafond soufflant classe 100)
  1. Profilomètre de surface Veeco Dektak
  1. Four de recuit rapide Jipelec Jetfirst 100
  1. Métaliseur
  2. MEB Zeiss Supra 40 équipé d’un système de lithographie électronique Raith Elphy
  3. MEB JEOL 7000F (EDX, Cathodoluminescence)
  4. FTIR (hors salle blanche)