La salle blanche est une pièce à atmosphère (température, humidité et empoussièrement) contrôlé, en légère surpression par rapport à l'extérieur (la classe correspond au nombre de particules de un micron ou moins par pied cube).
- Bâti Oxford système 100 RIE-ECR de gravure ionique plasma haute densité
- Bâti Alliance Comcept EVA 450 de dépôt par canon d’électrons
- Bâti RIBER de dépôt par évaporation par effet Joule
- Bâti MRC de dépôt par pulvérisation cathodique
- Hottes à flux laminaire classe 100 (Traitement chimique)
- Hottes à flux laminaire classe 100 avec Tournette SPS POLOS SPIN150i (Nettoyage des échantillons et Développement)
- Hottes à flux laminaire classe 100 avec Tournette Karl Süss RC8 Gyrset et Tournette SUSS Labspin6 (Epandage de résine)
- Four de recuit rapide Jipelec Jetfirst 100
- Aligneur de masque SUSS Microtec MA6 (UV4) (sous plafond soufflant classe 100)
- Microscope Reichert Polyvar (sous plafond soufflant classe 100)
- Aligneur de masque Karl Süss MJB3 (sous plafond soufflant classe 100)
- Profilomètre de surface Veeco Dektak 8
- Etuve Memmert UN30Plus
Système de lithographie électronique Zeiss Supra 40 équipé d’un système Raith Elphy (hors salle blanche)