La microscopie électronique en transmission (MET) permet de visualiser la microstructure des matériaux d’une échelle micrométrique jusqu’à l’échelle atomique. Au CRHEA la MET a 2 missions :

• Une mission de service qui concerne la caractérisation structurale et microstructurale des matériaux élaborés dans le laboratoire. Ceci comprend des mesures classiques pour des films minces de semi-conducteurs à large bande interdite :
  • Analyse des défauts structuraux (mesure de leurs densités, détermination de leur nature….)
  • Mesure précise des épaisseurs, compositions et morphologie d’hétéro-structures ayant des tailles du micromètre au nanomètre

  Cette activité de service est également proposée aux laboratoires et entreprises qui souhaitent bénéficier de l’expertise du CRHEA.

• Une activité de recherche sur la compréhension de la microstructure des films minces hétéro-épitaxiés de semi-conducteurs à large bande interdite (GaN et ZnO, SiC…), en fonction des conditions de leur croissance. Le CRHEA est reconnu nationalement et internationalement pour cette activité comme en témoigne les nombreuses publications et collaborations. Ces collaborations se font au niveau local (voir plateforme ACT-M), national ou international.

Au niveau technique, le CRHEA dispose de :

• Préparation des objets :
  • 2 scies à fil
  • 2 polisseuses dont une semi-automatique (Allied Multiprep)
  • 1 appareil de meulage concave
  • 1 amincisseur ionique
  • 2 microscopes optiques
• Observations:
  • Le CRHEA disposait d’un MET JEOL 2010 FEG haute résolution. Ce MET a été détruit lors des intempéries violentes du 3 octobre 2015. Depuis cette date les observations MET sont faites sur des MET extérieurs. Le CRHEA bénéficie de l’accès au MET de la société IMRA Europe installée sur le site de Sophia Antipolis. Les expériences sont aussi menées sur les METs du CP2M à Marseille et de MINATEC à Grenoble dans le cadre d’une collaboration avec le CEA LETI.
• Analyses des données :
  • Simulation images (logiciel JEMS)
  • Analyse d’image : analyse quantitative des images haute résolution par la méthode GPA et par des méthodes dans le réseau direct