Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier

La spectroscopie Infrarouge par Transformée de Fourier (FTIR) est mise en œuvre au laboratoire pour la caractérisation d’hétérostructures semi conductrices pour réaliser des mesures simples d’épaisseur mais aussi pour des analyses plus détaillées de mesures de contraintes par l’analyse des signatures vibrationnelles des matériaux.

Le laboratoire dispose d’un spectromètre TENSOR 27 de la marque BRUKER, permettant les analyses entre 350 et 7500cm-1, à température ambiante (détecteur DLaTGs avec fenêtre en KBr), sur des wafers de dimensions maximales de 8 pouces (accessoire de cartographie PIKE instrument). Les analyses peuvent être réalisées en réflexion ou transmission, en fonction de la nature des échantillons.

Un script SCILAB développé au laboratoire permet d’interpréter les résultats expérimentaux dans le cadre d’un modèle diélectrique multicouche.

Spectromètre FTIR TENSOR 27 avec accessoire PIKE pour la réalisation de cartographie sur des wafers jusqu’à 8 pouces de diamètre

Spectre expérimental de réflectivité obtenu sur une hétérostructure SiC/AlN/Si (en gras), comparé avec des réflectivités calculées dans le cadre d’un modèle diélectrique pour différent niveaux de dopage de la couche AlN.

Spectres expérimentaux de transmission enregistrés sur deux hétérostructures du laboratoire, GaN/AlN/Si et AlN/Si.