Microscopie électronique à balayage

La Microscopie Electronique à Balayage permet de réaliser des analyses structurales, chimiques et de luminescence sur les échantillons produits au laboratoire ou par nos partenaires. La technique couplée à un dispositif d’écriture permet également de réaliser des étapes de lithographie électronique pour la fabrication de motifs nanométriques. Deux appareils sont opérés par la plateforme CRHEACAM.

Le Supra 40 est un microscope électronique à balayage (MEB) à émission de champ très haute résolution à pointe chaude (Schottky) qui permet des courants d'émission (4pA-20nA) très stables. Il permet de caractériser des objets de tailles nanométriques.

• Tension d’accélération continue de 100V à 30kV
• Grossissement x12 à x300 000 et une résolution jusqu’à 1nm à 20kV (WD = 5mm)
• Diaphragmes de 7,5 à 120µm
• Sondes : haute efficacité SE In-Lens, classique SE2 de type Everhart-Thornley
• Platine porte-échantillons motorisée sur 5 axes : X, Y=130mm, Z=50mm, T=-3-70°, R=360°
• Taille d’échantillon maximale : Ø=100 mm, h=20 mm

Le JSM7000F est un MEB à émission de champ très haute résolution à pointe chaude (Schottky). Sa particularité est la possibilité d’obtention d’un courant d'émission élevé jusqu' 100nA et très stable. Il permet de caractériser des objets de tailles nanométriques.

• Tension d’accélération continue de 500V à 30kV
• Grossissement x12 à x100 000 et résolution jusqu’à 2.5nm à 5kV (WD=10mm)
• Sondes : classique SE2 de type Everhart-Thornley et un détecteur d’électrons rétrodiffusés BSE AUTRATA rétractable
• Platine porte-échantillons eucentrique goniométrique motorisée sur 5 axes : X, Y=70mm, Z=40mm, T=-5-70°, R=360°
• Surface maximum observable : Ø=80 mm, h=20mm

Accessoires d’analyse :

• Un système de microanalyse de spectrométrie par dispersion en énergie des photons X (EDX ou EDS) SAMX. Le détecteur X est un détecteur SSD (Silicon Drift Detector) de 10mm² SGX-Sensortech, sensibilité 5mV/keV
• Ce système permet la détection des éléments à partir du Be avec une résolution de 133eV et une vitesse jusqu’à 150kcps/s. Il permet de réaliser des analyses qualitatives, quantitatives, la cartographie élémentaire et spectrale quantitative ainsi que l’analyse de phases. - un système de Cathodoluminescence GATAN MONO CL4, couplé à une platine refroidie à l’azote liquide (lien avec le texte de Marc sur la cathodoluminescence)

Préparation des échantillons :

• un système de nettoyage des surfaces des échantillons par plasma RF EVACTRON XEI Scientific permettant d’éliminer les contaminations hydrocarbonées grâce à un plasma généré à l’intérieur de la chambre d’observation du Microscope. Cette décontamination a pour effet d’améliorer nettement la résolution des images
• un évaporateur AGAR Scientific pour la préparation des matériaux non conducteurs, permettant de déposer des couches conductrices : de l’or par plasma ou du carbone par évaporation