Le contrat de Plan Etat Région PERTINENCE 2021-2027 a permis de financer l’acquisition d’une lithographie par faisceaux d’électrons 100 kV. Cet équipement a été financé par la Région Sud, l’Union Européenne via le programme FEDER et le CNRS

• Charte d'utilisation
• Tarification
• Comité de pilotage
• Contacter le responsable : Maksym Gromovyi.

Le contrat de Plan Etat Région PERTINENCE 2021-2027 a également financé l’acquisition d’un réacteur de dépôt de type PECVD (Plasma enhanced chemical vapor deposition). Ce réacteur a été financé par la DRARI, le département des Alpes Maritimes, l’Université Côte d’Azur et le CNRS