Navigation
Développement et tests de cellules plasma
De nouvelles cellules à plasma d’azote sont actuellement développées pour augmenter la vitesse de croissance et améliorer l’uniformité. Dans ce contexte, une version modifiée de la cellule Addon RFN50/63 a été testée. Des vitesses de croissance supérieures à 2µm/h peuvent être atteintes.
Un capteur optique développé par RIBER permet de prédire la vitesse de croissance de GaN en fonction de la puissance RF et du débit d’azote.
Des structures à puits quantiques AlGaN/GaN ont également été réalisées. Pour en savoir plus...
De même, la cellule HDRS de NU Eco-Engineering Co a été testée pour la croissance de GaN et de puits quantiques AlGaN/GaN. Voir la publication...
