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Mise au point des procédures liées à l’utilisation de l’Ammoniac (croissance, régénération, dégazages)
La croissance de GaN et de ses composés avec le précurseur Ammoniac présente l’avantage de la simplicité. Cependant, l’Ammoniac non craqué durant la croissance est piégé sur les parois froides des panneaux cryogéniques et doit régulièrement être évacué. Pour cela, une procédure dite de régénération a été mise au point pour éviter que la remontée de pression qui peut aller jusqu’à quelques dizaines de Torrs, n’endommage les éléments du réacteur. Cette procédure met en jeu la gestion du système de pompage, des températures des cellules, et du chauffage externe de la machine pour évacuer l’ammoniac.
Ci-contre : Exemple d’évolution de la pression de NH3 durant une procédure de régénération