Imagerie à Haute Résolution des éléments légers par iDPC-STEM
Caractérisation d’un dispositif microélectronique
Exemple : transistor HEMT AIGaN/GaN
Analyse chimique par EDX haute sensibilité et haute résolution spatiale
Exemple: Nanofils InGaN/GaN coeur-coquille
Cartographie d’orientation par nanodiffraction électronique (ASTAR Nanomegas)
